SEMI 표준

SemiOn 에서 지원하는 통신 표준(SECS/HSMS/GEM)은 SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)의 표준 위원회에서 제정합니다. 

 SemiOn을 능숙하게 사용하려면 기본적으로 이들 표준에 대해서 상세히 알고 있는 것이 좋습니다. 표준은 SEMI 홈페이지에서 구입 가능합니다.

 SemiOn에서 지원하는 표준은 아래와 같습니다.

• SEMI E5-0303 : SEMI EQUIPMENT COMMUNICATIONS STANDARD 1 MESSAGE CONTENT(SECS-II)
• SEMI E37-0298 : HIGH-SPEED SECS MESSAGE SERVICES(HSMS) GENERIC SERVICES
• SEMI E37.1-96 : HIGH-SPEED SECS MESSAGE SERVICES SINGLE-SESSION MODE (HSMS-SS)
• SEMI E30-1000 : GENERIC MODEL FOR COMMUNICATIONS AND CONTROL OF MANUFACTURING EQUIPMENT(GEM)
• SEMI E4-0699 : SEMI EQUIPMENT COMMUNICATIONS STANDARD 1 MESSAGE TRANSFER(SECS-I) -> 지원 예정